也没有意见。”
“好!”徐志坚点点头,“那我提议就由老周具体负责,立刻协调津门基地,全力准备接待常院士。”
虽然说是提议,但这种本来已经达成一致的事情,董事长的提议基本就是决定。
因此,所有人都点头表示同意。
谨记着,徐志坚又继续给出了更细节的指示:
“要求:第一,安全规范严格执行;第二,参观路线精心规划,既要展示我们成熟的量产能力和技术储备,也绝不回避当前的任何瓶颈;第三,组织最强的技术团队随行,随时准备解答常院士可能提出的任何深度技术问题,我来负责现场,吴院士全程技术陪同……”
周学突然打断:“常院士的意思是,不要过于兴师动众,由参观地进行组织即可。”
徐志坚一愣,然后笑了笑,从善如流:“那我和老赵就不出面了,让津门基地的黄炜负责现场……”
“……”
决议迅速得到全体确认。
华芯国际这艘巨轮,因常浩南一个意外的参观请求,开始缓缓调整航向。
多重曝光
三天后,未来信息产业大会圆满落幕。
常浩南婉拒了后续的交流活动,在周学和两名便装警卫的陪同下,乘坐一辆低调的中巴车,直奔华芯国际设置在津门海河新区的生产与研发基地。
按照常浩南本人的要求,基地没有设置盛大的欢迎仪式。
只有负责人黄炜和提前一天回津的技术总监吴明翰,以及几名核心技术人员安静地等候。
看到常浩南下车,为首两人立刻迎上前。
简短的寒暄后,常浩南一行人便在专人引导下,前往更衣区。
晶圆制造对洁净度的要求比手术室严格百倍,因此在进入核心区域之前,必须换上全套特制的无尘服,并经过严格的风淋除尘程序。
踏出气动闸门之后,空气里就只剩下特有的洁净室气味,以及微弱的机器嗡鸣。
透过观察窗,可以看到一批完成抛光和清洗、表面光洁如镜的硅片,正被机械臂精准地送入沉积区,进行着薄膜生长。
“常院士,这是我们最基础的环节之一,硅片的制备和初始加工。”黄炜的声音透过通讯系统传来,“经过表面处理、清洗、沉积必要的镀膜作业之后,晶圆才会进入后面的光罩制作……也就是光刻环节。”
黄炜一边介绍流程,一边注视着自动化流程的完成。
正巧,一个批次的晶圆刚刚完成镀膜,被机械臂取出。
他示意操作员取出一片样品,隔着专用视窗展示给常浩南。
晶圆表面反射着顶灯的冷光,呈现出均匀的光泽。
常浩南俯身盯着晶圆的尺寸和边缘,伸手隔着玻璃比划了一下,问道:“黄总,这一批是200(8英寸)?”
“是的,常院士。”黄炜肯定道,“这是我们目前量产的主力尺寸。”
旁边的吴明翰适时补充:“12英寸(300)的产线还在备产阶段,主要是……现在公司的资金和顶尖工程资源,绝大部分都集中投入到光刻环节的突破上,尤其是利用现有深紫外(duv)设备攻坚更先进制程的研发。”
“不过从技术储备的角度,我们并不落后太多,一旦资金或关键设备到位,提速会很快。”
常浩南微微颔首,没有多言,示意继续前行。
“后面就是光罩制作区了。”黄炜一边引路一边介绍,“把ic设计图用电子束刻在石英片上,就能制成光罩,这个东西类似照相底片,刚才生产的晶圆就是相片纸,基本原理和洗照片差不多。”
虽然不完全准确,但足够生动,哪怕是外行也很容易理解。
“这里是我们给客户提供代工服务的主力区域。”黄炜指着几台正在运行的光刻机介绍:“除了满足国内ic设计公司的需求之外,我们也承接像德州仪器等国际厂商的部分订单。”
常浩南微微露出惊讶的表情,只是隔着面罩展现不出来。
“还有外国订单?”
“嗯,产品主要面向国内和中亚市场。”吴明翰解释道,“中低水平制程这块,我们流片的良率和速度都有优势。”
常浩南突然意识到,如今半导体产业的情况,要远比自己过去那条时间线上复杂得多。
介绍间,黄炜注意到常浩南的目光并未停留在运行中的量产设备上,而是投向了不远处一个被透明围挡隔开的区域。
那里同样属于光罩制作区,但周围聚集的技术人员更多,氛围也更显紧张和专注。
“常院士,那边是我们的研发攻坚区。”黄炜解释道,“您也看到了,生产和研发在光刻这个环节,很多时候是共用同一条线,设备和技术是互通的。”
“那边就是在尝试双重甚至四重曝光技术,目标是用我们现有的nxt:1950i duv光刻机,向更小的特征尺寸发起冲击。”
常浩南的目光
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